测试分析服务

驰拓科技可为客户提供各种测试表征服务，包括WAT测试，磁性器件测试，工艺可靠性，材料特性和结构分析等

1.WAT测试（12寸晶圆）

MOS器件特性

存储器件特性

BEOL电参数：R，C，Rs

2.磁性器件测试（12寸晶圆）

读写特性：TMR，Vc，Rp，Rap，WER

可靠性测试：BDV，Endurance，Data Retention

其它器件参数

3.工艺可靠性

MOSFET可靠性：GOI/TDDB，NBTI等

后段工艺可靠性：IMD/TDDB，SM

4.材料特性（薄膜）

磁性材料：厚度，电阻率，应力，Ms，Hc等

非磁性材料：厚度，电阻率，应力，RI等

MTJ多层膜：RA，MR，Hc，Hex，PMA，阻尼系数，Ms等

5.结构分析

SEM切片分析，AFM表面形貌分析